Pompy turbomolekularne EPX
Opis
Seria pomp turbomolekularnych Edwards EPX charakteryzuje się niewielkimi rozmiarami i wymogiem niskiego poziomu mocy, ponieważ jedynie 1,4 kW. Wykorzystują unikalny, opatentowany, jednowałowy mechanizm regeneracyjny (Holweck). Pompy serii EPX są w stanie samodzielnie obsłużyć ciśnienia od atmosferycznego aż do poziomu wysokiej próżni bez ryzyka zanieczyszczenia procesu.
Specyfikacja
- Kompaktowy rozmiar — EPX jest bardziej kompaktowy niż równoważna kombinacja pompy turbomolekularnej i pompy próżni wstępnej.
- Niski koszt eksploatacji — brak potrzeby rutynowej konserwacji w trakcie 5-letniego okresu międzyserwisowego
- Unikalny, chroniony patentem mechanizm pompowania – EPX może pracować z ciśnieniami od atmosferycznego do podstawowego ciśnienia turbomolekularnego. Może pracować w sposób ciągły przy wszystkich ciśnieniach wlotowych.
- Ultra czysty mechanizm – pompy EPX nie zawierają żadnego smaru ani oleju w komorze i nie stanowią źródła potencjalnego zanieczyszczenia.
- Niezwykle niezawodny – oparty na sprawdzonej w praktyce technologii IPX, EPX ma MTBFp = 13 lat (SEMI E10) z okresami serwisowymi co około 5 lat dla zmaksymalizowania żywotności pompy.
Chłodzenie wodą – niskie obciążenie cieplne otoczenia - Niski poziom hałasu i wibracji – lepsze środowisko pracy. Idealny do środowisk wrażliwych na wibracje.