Nanoomanipulatory – rozwiązania z mikroskopem optycznym
Opis
NANO-ROZWIĄNIA DLA MIKROSKOPII ELEKTRONOWEJSystem do nanoprobingu w mikroskopie elektronowym umożliwia prowadzenie intuicyjnych pomiarów niskich prądów w warunkach in situ w SEM oraz FIB. Pozwala on na charakteryzację próbki w komorze próżniowej mikroskopu w dowolnym momencie obserwacji.
Rozwiązanie wykorzystuje do 8 mikromanipulatorów miBot pozwalające użytkownikowi niezależnie pozycjonować sondy na próbkach z rozdzielczością w skali nanometrycznej. Cztery stopnie swobody każdego z mikromanipulatorów umożliwiają operatorowi łatwo dostosować orientację sond podczas eksperymentu.
Zestaw adapterów dostarczanych wraz z urządzeniem umożliwia dostosowanie systemu do dowolnych mikroskopów SEM, nawet tych z najmniejszą komorą. Płaska platforma systemu o średnicy w zakresie 10-12,5 cm może być zainstalowana na stoliku mikroskopu lub interfejsie mechanizmu load-lock.
Charakterystyczne zastosowania:
-Charakteryzacja półprzewodników:
• Charakterystyka prądowo napięciowa
pojedynczych tranzystorów
• Inżynieria odwrotna, projektowanie chipów
-Analiza uszkodzeń półprzewodników (failure analysis):
• EBIC: Electron Beam Induced Current
Lokalizacja defektów w złączach p/n
• EBAC/RCI: Electron Beam Absorbed Current
Shorts/Opens detection at metal lines
-Charakteryzacja materiałów i nanomanipulacja
• Testowanie urządzeń optoelektronicznych, MicroLED,
paneli słonecznych
• Analiza cienkich warstw
• 4 punktowe pomiary (probing)
• Wyodrębnianie pojedynczych struktur(nanodruty,
cząstki, etc.) Preparatyka próbek TEM
Specyfikacja
• Środowisko pracy wewnątrz komory mikroskopu (najniższe ciśnienie pracy 10-8 bar oraz zakres temperatury 273-353 K)
• Możliwość wykorzystania stolika z możliwością umieszczenia do 8 mibotów
Electrical probing: zakres napięcia +/- 100V, natężenie prądu 1fA-100mA, rezystancja ok. 3.5Ὠ (od końcówki mibota do złącza BNC)
• Wymiary oraz waga:
Obudowa: 20.5 x 20.5 x 13.6 mm3
Ramie: 8.3 mm (bez narzędzia)
Waga: 12 g (bez narzędzia)
Max. Dokładność pozycjonowania:
tryby ruchu: zgrubny (stepping) dokładny (scanning)
Stepping: 50 nm (X, Y), 120 nm (Z)
Scanning: 1.5 nm (X, Y), 3.5 nm (Z)
Zakres ruchu
Stepping (XY,R,Z):20 x 20 mm2, ± 180°, 42°
Scanning (X Y Z): 440 x 250 x 780 nm3
Note: in stepping, actual X, Y, R range are limited by the size and shape of the stage where
the miBot moves, and the length of the driving cable.
Prędkość
X i Y: do 2.5 mm.s-1
Z: do 150 mrad.s-1
Siły i moment obrotowy:
X and Y: push:0.3 N Z: lift: 0.7 mNm (5 g)
hold: 0.2 N hold: 0.9 mNm (6 g)
Pochylanie oraz utrzymanie pozycji: do 55°
Doposażenie
Platforma montowana w miejsce stolika na 4-miBoty
•Kompaktowa konstrukcja (średnica 100 mm)
•Do 4 niezależnych miBot™
•Rozmiar próbki do ok. 1”
Platforma montowana w miejsce stolika na 8-miBotów
•Przestronna konstrukcja (średnica: 125 mm)
•Do 8 niezależnych miBot™
•Rozmiar próbki do ok. 2”
Platforma Load-lock na 8 mibotów
•Przestronna konstrukcja (średnica: 110 mm)
•Do 8 niezależnych miBot™
•Rozmiar próbki do ok. 1,5”
• Typowe wymiary drzwi śluzy:
150 (w) x 45 (h) mm
Specjalne platformy
•Dla większych/grubszych próbek ( dla pakietów próbek)
•Ze stolikami chłodzącymi/grzewczymi
•Niestandardowa konfiguracja komór
Aktywny uchwyt na próbki
• Ręczna regulacja wysokości próbki (zakres 8 mm)
• Odchylanie próbki zdefiniowaną przez użytkownika
Stolik pozyconujący próbkę XYZ
• Umożliwia przeniesienie próbki niezależnie od sond w kierunkach X, Y, Z (zakres przesuwu: 5 mm (X, Y), 330 um (Z); Max. rozdzielczość: 2 nm (X, Y), 7 nm (Z))
• Redukuje czas umiejscowienia sond i przyspiesza
charakterystykę urządzeń
System pomiarowy EBIC, EBAC, EBIC&EBAC/RCI