Micromanipulatory – rozwiązania z mikroskopem optycznym

  • Opis
  • Specyfikacja
  • Doposażenie
  • Materiały eksploatacyjne

Opis

MICRO system manipulatorów może być bezproblemowo zintegrowany praktycznie z dowolnym wyposażeniem badawczym w środowisku otaczającym oraz z wykorzystaniem  dołączonego mikroskopu optycznego. Umożliwia precyzyjne pozycjonowanie sond i sensorów oraz fizycznie oddziałuje z badaną próbką nawet w najbardziej wymagających środowiskach badawczych.

Olbrzymią zaletą systemu jest wykorzystanie ultra-małych rozmiarów mikromanipulatorów miBot, wyposażonych w piezoaktuatory. Poruszają się one po specjalnie zaprojektowanych platformach, co wklucza wpływ jakichkolwiek niekorzystnych efektów wewnątrz komory mikroskopu.

Cały system wyposażony jest w mikromanipulatory pozwalające użytkownikowi na niezależne pozycjonowanie sond i sensorów na przestrzeni milimetrów przy zachowaniu rozdzielczości pozycjonowania kilkudziesięciu nanometrów.

Platformy badawcze systemu dostępne są w różnych kształtach i rozmiarach. W zależności od modelu mogą one pomieścić od 1 do 4 miBot-ów.

Specjalna stacja do przeprowadzania elektrycznej charakteryzacji próbek oraz testowania urządzeń w micronowej skali w łatwym do użycia oprogramowaniem Precisio, zapewnia pełną stabilności i zmniejsza ryzyko uszkodzenia delikatnych próbek.

Charakterystyczne zastosowania:

Manipulacje i pozycjonowanie:

-Transfer microcząstek

-Dokładne pozycjonowanie, robotyka

-Micro-montaż

Pomiary półprzewodników:

-Charakterystyka prądowo napięciowa, pomiary
rezystancji

-Pomiary płytek krzemowych

-Analiza uszkodzeń półprzewodników (failure analysis)

Charakteryzacja materiałów:

-Charakteryzacja materiałów 2D

-4 punktowe pomiary (probing)

-Badanie układów MEMS

Specyfikacja

•       Środowisko pracy otaczające oraz z wykorzystaniem mikroskopu optycznego

•       Możliwość wykorzystania stolika z możliwością umieszczenia 1 mibota(30x30mm) bądź do 4 (26x92mm)

•       Electrical probing: zakres napięcia +/- 100V, natężenie prądu 1pA-100mA, rezystancja ok. 3.5Ὠ (od końcówki mibota do złącza BNC)

•       Zakres ruchowy: stepping;   Max. speed: 2.5 mm/s (X,Y), 150 mrad/s (Z) (X,Y), ± 180° (qZ), 42° (Z), dokładność pozycjonowania: 50 nm (X, Y), 120nm (Z)

•       Kompatybilność z narzędziami o średnicy 0,51mm i średnicą końcową w zakresie 5nm-10um

Doposażenie

Stacja pomiarowa z mikroskopem optyczny
Stacja do przeprowadzania elektrycznej charakteryzacji próbek oraz testowania urządzeń w micronowej skali w łatwym do użycia oprogramowaniem Precisio, zmniejszającym ryzyku uszkodzenia delikatnych próbek

Mikroskop:
Rozdzielczość optyczna: ok 1,1 um

Całkowite powiększenie: 2.8x do 35.5x regulowane przy pomocy zmotoryzowanego zoomu (Powiększenie obiektywu x10)

Odległość robocza: 33.5 mm

Oświetlenie(LED) z możliwością ustawienia intensywności

Kamera: 1920 x 1200 pikseli, USB 3.0

Ostrość regulowana przez submikronową śrubę (zakres: 28 mm)

Manualny stolik pozycyjny X-Y z zakresem przemieszczenia: 10 mm x 10 mm