Pompy suche iGX
Opis
Suche pompy Edwards iGX stanowią wszechstronną platformę pomp próżniowych o niezawodnej wydajności do czystych i średnio obciążających (medium duty) zastosowań dla krzemu i półprzewodników złożonych. Kompaktowy rozmiar i niski poziom wibracji zapewniają dużą elastyczność ich wykorzystania. Pompy iGX mogą pracować zarówno bezpośrednio w pobliżu procesu jak i zdalnie, a to zapewnia oszczędność miejsca i ostatecznie obniżony całkowity koszt eksploatacji. Pompy iGX oferują również łączność Ethernet i inne opcje sieciowe.
Specyfikacja
- Zmniejszony koszt eksploatacji
- Do 50% niższe koszty mediów w porównaniu z suchymi pompami iL/iH
- Brak konserwacji zapobiegawczej pomiędzy okresowymi przeglądami
- Elastyczne opcje instalacji
- Małe rozmiary i niewielka waga ułatwia instalację niezależnie od lokalizacji
- Jedna z najszybszych dostępnych na rynku pomp do aplikacji typu loadlock
- Stała wydajność pompowania
- Szybkość pompowania identyczna przy zasilaniu 50 Hz i 60 Hz
- Niski poziom generowanego hałasu – tylko 55 dB(A)
- Szeroki zakres szybkości szczytowych: 100, 300, 600 i 800 m3h-1