System przygotowania próbek TEM Picomill 1080
Opis
Urządzenie PicoMill 1080 pozwala na niezwykle precyzyjne przygotowanie próbek dedykowanych do badań w wysokorozdzielczych transmisyjnych mikroskopach elektronowych (HR-TEM). Proponowane rozwiązanie zapewnia możliwość przygotowania preparatów TEM praktycznie wolnych od niepożądanych warstw amorficznych i implantowanych.
Właściwości:
- jest idealnym uzupełnieniem techniki preparatyki próbek z użyciem mikroskopów typu FIB (Focused Ion Beam)
- umożliwia pocienianie jonowe bez wprowadzania jakichkolwiek artefaktów
- zawiera zaawansowany detektor do obrazowania oraz precyzyjnej detekcji momentu zakończenia procesu
- umożliwia obrazowanie in situ z wykorzystaniem detekcji jonów oraz elektronów wtórnych
- dla zapewnienia bezpiecznej preparatyki próbek urządzenie jest zintegrowane z mikroskopem
- urządzenie pozwala na przygotowanie próbek umożliwiających osiągnięcie wyśmienitych wyników wysokorozdzielczego obrazowania techniką TEM
- instrument jest systemem szybkim w działaniu, niezawodnym oraz łatwym w użyciu
Specyfikacja
Zastosowanie
Głowne: Przygotowanie próbek TEM dla mikroelektroniki oraz półprzewodników
Drugorzędne: Dla innych próbek wymagających optymalnych rezultatów. Idealne rozwiązanie gdy przygotowanie próbek odbywa się przez połączenie FIB z aberration corrected TEM
Źródło jonów
Źródło jonów pochodzące z włókna w połączeniu z elektrostatycznymi soczewkami (50ev-2kV),
Możliwość dostosowania gęstości prądu wiązki do 8 mA/cm2 rozmiar wiązki < 1 µm
Źródło elektronów
Napięcie przyspieszające do 10 keV
Working distance 16 mm
Klatka Faraday’a do monitorowania prądu wiązki w zakresie 1 do 2,000 pA
Goniometer
Ruch X Y Z oraz możliwy pochył
Wymiana próbki of < 30 seconds
Kąt ścieniania −15 to +90°
Zakres pola widzenia -15 to 180°
Holder
Side-entry, TEM-style holder kompatybilny z większościa mikroskopów TEM
Skupianie wiązki elektronów
Wiązka jonów może być skupiona na pojedynczym punkcie na prókce bądź skanowana na wybranym obszarze
Gaz- źródło jonów
Gaz: UHP 99.999% argon
Kontrola gazu: Automatyczny
Komponenty pneumatyczne : Compressed dry air or dry nitrogen
Obrazowanie
Detektor elektronów wtórnycxh/Everhart-Thornley detektor
- Obrazowanie elektronowe z 2mm polem widzenia
- Indukowane jonami z polem widzenia 1,9mm
- Obrazy wyświetlanie na ekranie PicoMill
Solid-state backscatter electron detector
Solid-state scanning/transmission electron (STEM) detector
System próżniowy
Układ próżniowy bazujący na pompie turbomolekularnej oraz bezolejowej pompie próżni wstępnej
Ciśnienie robocze::
- próżnia podstawowa 3 x 10-6 mbar
- próżnia pracy 1 x 10-4 mbar
AUTOMATYCZNE ZAKOŃCZENIE
Automatyczna terminacja procesu przez zegar, electron signal czy manualny proces
Doposażenie
Materiały eksploatacyjne
Po więcej materiałów eksploatacyjnych zapraszamy do naszego sklepu internetowego Micro-Shop.