Micromanipulatory – rozwiązania z mikroskopem optycznym
Opis
MICRO system manipulatorów może być bezproblemowo zintegrowany praktycznie z dowolnym wyposażeniem badawczym w środowisku otaczającym oraz z wykorzystaniem dołączonego mikroskopu optycznego. Umożliwia precyzyjne pozycjonowanie sond i sensorów oraz fizycznie oddziałuje z badaną próbką nawet w najbardziej wymagających środowiskach badawczych.
Olbrzymią zaletą systemu jest wykorzystanie ultra-małych rozmiarów mikromanipulatorów miBot, wyposażonych w piezoaktuatory. Poruszają się one po specjalnie zaprojektowanych platformach, co wklucza wpływ jakichkolwiek niekorzystnych efektów wewnątrz komory mikroskopu.
Cały system wyposażony jest w mikromanipulatory pozwalające użytkownikowi na niezależne pozycjonowanie sond i sensorów na przestrzeni milimetrów przy zachowaniu rozdzielczości pozycjonowania kilkudziesięciu nanometrów.
Platformy badawcze systemu dostępne są w różnych kształtach i rozmiarach. W zależności od modelu mogą one pomieścić od 1 do 4 miBot-ów.
Specjalna stacja do przeprowadzania elektrycznej charakteryzacji próbek oraz testowania urządzeń w micronowej skali w łatwym do użycia oprogramowaniem Precisio, zapewnia pełną stabilności i zmniejsza ryzyko uszkodzenia delikatnych próbek.
Charakterystyczne zastosowania:
Manipulacje i pozycjonowanie:
-Transfer microcząstek
-Dokładne pozycjonowanie, robotyka
-Micro-montaż
Pomiary półprzewodników:
-Charakterystyka prądowo napięciowa, pomiary
rezystancji
-Pomiary płytek krzemowych
-Analiza uszkodzeń półprzewodników (failure analysis)
Charakteryzacja materiałów:
-Charakteryzacja materiałów 2D
-4 punktowe pomiary (probing)
-Badanie układów MEMS
Specyfikacja
• Środowisko pracy otaczające oraz z wykorzystaniem mikroskopu optycznego
• Możliwość wykorzystania stolika z możliwością umieszczenia 1 mibota(30x30mm) bądź do 4 (26x92mm)
• Electrical probing: zakres napięcia +/- 100V, natężenie prądu 1pA-100mA, rezystancja ok. 3.5Ὠ (od końcówki mibota do złącza BNC)
• Zakres ruchowy: stepping; Max. speed: 2.5 mm/s (X,Y), 150 mrad/s (Z) (X,Y), ± 180° (qZ), 42° (Z), dokładność pozycjonowania: 50 nm (X, Y), 120nm (Z)
• Kompatybilność z narzędziami o średnicy 0,51mm i średnicą końcową w zakresie 5nm-10um
Doposażenie
Stacja pomiarowa z mikroskopem optyczny
Stacja do przeprowadzania elektrycznej charakteryzacji próbek oraz testowania urządzeń w micronowej skali w łatwym do użycia oprogramowaniem Precisio, zmniejszającym ryzyku uszkodzenia delikatnych próbek
Mikroskop:
Rozdzielczość optyczna: ok 1,1 um
Całkowite powiększenie: 2.8x do 35.5x regulowane przy pomocy zmotoryzowanego zoomu (Powiększenie obiektywu x10)
Odległość robocza: 33.5 mm
Oświetlenie(LED) z możliwością ustawienia intensywności
Kamera: 1920 x 1200 pikseli, USB 3.0
Ostrość regulowana przez submikronową śrubę (zakres: 28 mm)
Manualny stolik pozycyjny X-Y z zakresem przemieszczenia: 10 mm x 10 mm