SPARC Compact System katodoluminescencji do mapowania intensywności emisji w SEM – Delmic

SPARC Compact firmy Delmic to system detekcji katodoluminescencji przeznaczony do obrazowania przestrzennego rozkładu intensywności emisji świetlnej w skaningowym mikroskopie elektronowym. Rozwiązanie umożliwia analizę lokalnych właściwości optycznych materiałów, identyfikację niejednorodności strukturalnych oraz obserwację obszarów o zróżnicowanej aktywności luminescencyjnej.

System znajduje zastosowanie w charakterystyce półprzewodników, materiałów optoelektronicznych, minerałów i struktur geologicznych. Obrazowanie katodoluminescencyjne pozwala ujawniać defekty krystaliczne, strefowość wzrostu kryształów oraz różnice właściwości emisyjnych, które mogą pozostawać niewidoczne w standardowych obrazach SE i BSE.

SPARC Compact umożliwia szybkie mapowanie większych powierzchni próbek, w tym automatyczne łączenie kolejnych pól obrazowania. Dzięki temu system sprawdza się zarówno w badaniach naukowych, jak i rutynowej kontroli jakości materiałów.

Cechy charakterystyczne

• Mapowanie intensywności katodoluminescencji w SEM.
• Obrazowanie panchromatyczne i mapowanie z filtracją spektralną.
• Identyfikacja defektów i niejednorodności materiałowych.
• Automatyczne obrazowanie większych obszarów próbek.
• Łączenie pól widzenia z korekcją ostrości.
• Zastosowanie w geologii, półprzewodnikach i optoelektronice.
• Możliwość uzupełnienia standardowych technik analitycznych SEM.

Specyfikacja techniczna