System do dyfrakcji elektronów wstecznie rozproszonych (EBSD) Quantax – Bruker

Detektory EBSD serii e-Flash oraz rewolucyjny eWARP firmy Bruker wykorzystują technologię bezpośredniej detekcji elektronów (DED), która rejestruje sygnał elektronów wstecznie rozproszonych bezpośrednio za pomocą materiału półprzewodnikowego sprzężonego z układem scalonym. W przeciwieństwie do detekcji opartej na scyntylatorach, bezpośrednia detekcja oferuje zwiększoną czułość, co umożliwia ultraszybkie pomiary EBSD oraz mapowanie przy niskich napięciach przyspieszających (low-kV).
Nowatorski detektor eWARP wykorzystuje pikselowy sensor zaprojektowany specjalnie do EBSD:
Najwyższa efektywność sygnałowa w historii EBSD – piksele o dużej powierzchni i krzemowy sensor zoptymalizowany dla energii elektronów w SEM zapewniają unikalnie wysoką szybkość zbierania sygnału.
Ultraszybka wydajność – akwizycja map EBSD z prędkością do 14 400 wzorców na sekundę.
Niskie parametry wiązki – tak wyjątkowa wydajność osiągana jest przy napięciu przyspieszającym zaledwie 10 kV i prądzie sondy 12 nA.
Idealny do low-kV – zwiększona czułość detekcji umożliwia mapowanie EBSD przy bardzo niskich napięciach przyspieszających.
Detektory serii e‑Flash oferują zróżnicowane parametry dopasowane do różnych zastosowań:
Umożliwia prowadzenie szybkich pomiarów nawet do 945 wzorców/s (grupowanie sygnałów 8×8) oraz poprawioną dokładność przy prędkości 630 wzorców/s (grupowanie sygnałów 4×4). Idealny do zastosowań wymagających wysokiej przepustowości.
Wysoka rozdzielczość natywna wynosząca 1600×1200 pikseli z maksymalną prędkością 170 wzorców/s (grupowanie sygnałów 20×20). Wspiera pomiary przy niskim napięciu przyspieszającym (aż do 5 kV) oraz niskich prądach wiązki (aż do 0,1 nA).
Możliwość pozycjonowania ekranu w pionie w trybie „in situ” w celu uzyskania najlepszej jakości sygnału EBSD. Wysoka dokładność pozycjonowania ekranu fosforowego wynosząca <10 µm. Ekran oraz detektory FSE/BSE łatwo wymieniane przez użytkownika, a unikalna automatyka wycofuje detektor po zakończeniu pomiarów.
Zintegrowany system obrazowania ARGUS™ oferuje zaawansowane możliwości wizualizacji:
Średni kontrast atomowy – doskonałe obrazowanie próbek silnie pochylonych.
Obrazy o kontraście zakodowanym w kolorze – uzyskiwane przy wykorzystaniu trzech niezależnych detektorów.
Wysoki stosunek sygnału do szumu – dzięki w pełni zintegrowanej elektronice.
System oferuje duże wsparcie dla techniki TKD, niezbędnej do analizy cienkich próbek i nanomateriałów:
W skład zestawu wchodzi dedykowany uchwyt próbek TKD, zapewniający optymalne mocowanie i pozycjonowanie próbek do analiz transmisyjnych.
Specjalnie zaprojektowana dla najlepszej geometrii próbka-detektor. Umożliwia nie tylko uzyskanie linii Kikuchiego, ale także dyfrakcję z wybranego obszaru próbki, co jest kluczowe dla precyzyjnej analizy lokalnych właściwości krystalograficznych.
System EBSD Bruker oferuje niezrównaną użyteczność i zaawansowane funkcje analityczne:
Wsparcie i automatyzacja konfiguracji – asysta sygnału w procesie automatycznej konfiguracji kamery oraz automatyzacja kalibracji detektora.
Kontrola jakości danych – punktowa inspekcja w dowolnej lokalizacji mapy, przetwarzanie w czasie rzeczywistym.
Solidne indeksowanie – wzdłuż granic ziaren i granic faz, wykluczanie niepożądanych fragmentów próbki.
Unikalne połączenie EBSD i EDS – zaawansowana integracja z systemem QUANTAX EDS, oba detektory mogą znajdować się jednocześnie w optymalnej pozycji pomiarowej.
Przechowywanie i powtórna analiza – kompletne dane do powtórnej analizy w dowolnym czasie, przechowywanie wielu pozycji i rozwiązań.
Prezentacja wyników – olbrzymia liczba możliwości: dane z punktów, mapy, histogramy, tekstury.
Identyfikacja faz – zaawansowana identyfikacja faz dla próbek wielofazowych i mineralogicznych, porównanie z obszerną bazą danych, możliwość identyfikacji online i offline.
Szczegółowe parametry detektorów EBSD Bruker:
Do 14 400 wzorców/s przy 10 kV i 12 nA.
Do 945 wzorców/s (8×8), 630 wzorców/s (4×4).
1600×1200 pikseli natywnie, prędkość do 170 wzorców/s.
Pomiary do 5 kV i prądy wiązki do 0,1 nA.
Dokładność <10 µm, regulacja w pionie in situ.
Łatwa wymiana ekranu oraz detektorów FSE/BSE przez użytkownika.
Unikalne wycofanie detektora po zakończeniu pomiarów.
Trzy niezależne detektory, kodowanie kolorami, wysoki SNR.
Seria detektorów EBSD Bruker może być doposażona w dodatkową głowicę OPTIMUS™ TKD, która została specjalnie zaprojektowana dla najlepszej geometrii próbka-detektor:
Optymalna geometria – zaprojektowana specjalnie dla najlepszego ułożenia próbki względem detektora.
Dyfrakcja z wybranego obszaru – umożliwia nie tylko uzyskanie linii Kikuchiego, ale także dyfrakcję z wybranego, precyzyjnie zdefiniowanego obszaru próbki.
Idealna do nanomateriałów – niezbędne narzędzie do analizy cienkich próbek, nanokryształów i materiałów 2D.
Bezpośrednia detekcja elektronów rejestruje sygnał elektronów wstecznie rozproszonych bezpośrednio za pomocą materiału półprzewodnikowego z układem scalonym, bez pośrednictwa scyntylatora. Oferuje to znacznie wyższą czułość, co przekłada się na możliwość prowadzenia ultraszybkich pomiarów oraz mapowania przy niskich napięciach przyspieszających (low-kV) i niskich prądach wiązki.
eWARP to rewolucyjny detektor wykorzystujący pikselowy sensor zaprojektowany specjalnie do EBSD, oferujący bezprecedensową prędkość do 14 400 wzorców/s. Seria e-Flash to sprawdzone, zaawansowane detektory oferujące modele FS (szybkie pomiary) i HD (wysoka rozdzielczość), które doskonale sprawdzają się w szerokim spektrum zastosowań od rutynowych analiz po wymagające badania low-kV.
Transmission Kikuchi Diffraction (TKD) to technika analizy dyfrakcyjnej w transmisji, stosowana dla cienkich próbek i nanomateriałów. Pozwala na uzyskanie wysokiej rozdzielczości przestrzennej, przewyższającej konwencjonalne EBSD. Jest niezastąpiona przy badaniu nanokryształów, cienkich warstw i materiałów 2D, a dedykowana głowica OPTIMUS™ TKD zapewnia optymalną geometrię pomiarową.
Systemy EBSD Bruker są w pełni zintegrowane z detektorami EDS QUANTAX. Oba detektory mogą znajdować się jednocześnie w optymalnej pozycji pomiarowej, co umożliwia równoczesną akwizycję danych krystalograficznych (EBSD) i chemicznych (EDS). Integracja na poziomie oprogramowania pozwala na zaawansowaną korelację danych i kompleksową charakterystykę materiałów.
ARGUS™ to zaawansowany system obrazowania wykorzystujący trzy niezależne detektory do generowania obrazów o średnim kontraście atomowym dla próbek silnie pochylonych. Umożliwia tworzenie obrazów o kontraście zakodowanym w kolorze, a w pełni zintegrowana elektronika zapewnia wysoki stosunek sygnału do szumu.
Detektory EBSD serii e-Flash i eWARP firmy Bruker reprezentują najnowszą generację technologii bezpośredniej detekcji elektronów (DED) w analizie dyfrakcji elektronów wstecznie rozproszonych. Oferując bezprecedensową prędkość mapowania do 14 400 wzorców/s w przypadku eWARP oraz wysoką rozdzielczość i możliwości low-kV w serii e-Flash, systemy te przesuwają granice możliwości badawczych. Zintegrowany system obrazowania ARGUS™ FSE/BSE, zaawansowane wsparcie dla techniki TKD z głowicą OPTIMUS™ oraz pełna integracja z systemem QUANTAX EDS czynią te detektory najbardziej zaawansowanymi narzędziami do kompleksowej charakterystyki mikrostruktury i faz w materiałoznawstwie, nanotechnologii i badaniach półprzewodników.
Poniżej znajdują się rekomendowane akcesoria i materiały eksploatacyjne dedykowane do systemów EBSD, dostępne w naszym sklepie MICRO SHOP:
Nachylony stolik cylindryczny z gwintem M4 i zaciskami do stabilnego mocowania próbek podczas analiz EBSD.
Kompaktowy stolik z możliwością pochylania i ruchu, wyposażony w gwint M4, idealny do precyzyjnego pozycjonowania próbek.
Uchwyt z regulacją kąta przeznaczony do stoliczków pinowych, umożliwiający optymalne ustawienie próbki względem detektora EBSD.
W naszej ofercie znajdują się również inne akcesoria niezbędne do prawidłowej konfiguracji systemu EBSD:
Ekrany fosforowe zapasowe – łatwa wymiana przez użytkownika
Detektory FSE/BSE – wymienne moduły do systemu ARGUS™
Uchwyty TKD – dedykowane do analizy cienkich próbek i nanomateriałów

Copyright © 2026 by PIK Instruments | All Rights Reserved | Design by Pride of Lions