System precyzyjnych mikromanipulatorów miBot™, dostępny w dwóch liniach produktowych: MICRO oraz NANO.

Linia MICRO

Produkty MICRO (dokładność do 100 nm) obejmują różne platformy mieszczące do 8 sond miBot™. Dostępne są w dwóch wersjach:

• z mikroskopem i stolikiem pozycjonującym,
• jako moduł do integracji z posiadanym już mikroskopem.

Rozwiązania te umożliwiają niezależne pozycjonowanie sond w skali milimetrów, z rozdzielczością sięgającą ułamków nanometra. MiBoty mogą być również używane do mocowania światłowodów, czujników i innych elementów.

Możliwość integracji z:

• mikroskopami optycznymi,
• nanoindenterami,
• mikroskopami AFM,
• narzędziami do inspekcji półprzewodników,
• spektrometrami Ramana,
• komorami rękawicowymi.

________________________________________________________________________________________

Linia NANO

Linia NANO (dokładność do 1 nm) przeznaczona jest do pracy z praktycznie każdym mikroskopem elektronowym SEM oraz FIB. System dedykowany jest do charakterystyki elektrycznej urządzeń mikroelektronicznych, analizy awarii półprzewodników in situ, manipulacji pojedynczymi strukturami. Pozwala także na precyzyjne pomiary niskich prądów w warunkach in situ.

Zastosowania:

Charakteryzacja półprzewodników:

• • charakterystyka prądowo-napięciowa pojedynczych tranzystorów,
  • inżynieria odwrotna i projektowanie układów scalonych.

Analiza uszkodzeń półprzewodników (Failure Analysis):

• • EBIC (Electron Beam Induced Current) – lokalizacja defektów w złączach p/n,
  • EBAC/RCI (Electron Beam Absorbed Current).

Charakteryzacja materiałów i nanomanipulacja:

• • testowanie urządzeń optoelektronicznych, MicroLED i paneli słonecznych,
  • analiza cienkich warstw,
  • pomiary czteropunktowe,
  • wyodrębnianie pojedynczych struktur (nanodruty, cząstki, itp.),
  • przygotowanie próbek TEM.

Specyfikacja MICRO:

• 4 stopnie swobody (niezależnie sterowane: X, Y, R, Z)
• interfejs: 4 złącza współosiowe (BNC)
• zakres napięcia: ±100 V (DC / AC Peak)
• zakres prądu: 1 pA – 500 mA (DC / AC RMS)
• rezystancja: ok. 3,5 Ω (od sondy do złącza BNC)
• kompatybilność z końcówkami o średnicy 0,51 mm (0,020″) i promieniach końcówek od 5 nm do 1 µm

Specyfikacja NANO:

• możliwość wyposażenia w stolik temperaturowy: od –30°C do +150°C
• platformy kompatybilne z 4 lub 8 miBotami
• dostępna platforma Load-lock
• zakres napięcia: ±100 V
• maksymalny prąd: 100 mA
• końcówki wolframowe: promień od 5 nm do 1 μm, średnica trzpienia 0,51 mm (0,020”), długość 15 lub 20 mm (inne typy na żądanie)
• opcja niezależnego pozycjonowania próbki względem sond w osiach X, Y, Z