Axia ChemiSEM to nowa generacja skaningowego mikroskopu elektronowego, zaprojektowana, aby zapewnić najefektywniejsze wykorzystanie możliwości mikroskopii SEM-EDS. Axia ChemiSEM łączy możliwość wysokorozdzielczego, zautomatyzowanego obrazowania  z unikalnym, natychmiastowym dostępem do ilościowych map pierwiastkowych analizowanych powierzchni. Akwizycja obu sygnałów następuje jednocześnie – pozwalając na równoległe zbieranie obrazów elektronowych z akwizycją map rozkładu pierwiastków. Cechy te, w połączeniu z niezwykle intuicyjnym interfejsem użytkownika, sprawiają, że jest to system przyjazny nawet dla osób które wcześniej nie miały styczności z SEM. Axia ChemiSEM oferuje największą skuteczność obrazowania i analiz w swojej klasie, zapewniając nowy poziom łatwości i skuteczności obsługi skaningowego mikroskopu elektronowego.

Zaletą mikroskopii SEM jest możliwość przeprowadzenia szybkiej i skutecznej mikroanalizy pierwiastkowej (EDS). W tradycyjnych systemach SEM/EDS często trzeba przechodzić przez złożone procedury, aby uzyskać wyniki analizy składu chemicznego, co jest czasochłonne i niejednokrotnie wręcz przytłaczające dla nowych, niezbyt doświadczonych użytkowników. Dodatkowo, wiele rozwiązań EDS przedstawia ogólne, uśrednione mapy zliczeniowe rtg, które mogą prowadzić do błędnej interpretacji wyników.

Technologia ChemiSEM opiera się na ścisłej integracji SEM-EDS oraz zaawansowanych algorytmach przetwarzania. Jeden generator skanowania kontroluje zarówno akwizycję obrazów SE/BSE, jak i akwizycję sygnału EDS, zapewniając idealnie skorelowane wyniki. Zapobiega to niedopasowaniom między uzyskanymi obrazami i mapami rozkładu pierwiastków, które mogą wystąpić, jeśli pochodzą z różnych systemów. Umożliwia również bardzo szybkie skanowanie z czasami ekspozycji tak krótkimi jak 100 ns, co jest idealne dla aplikacji o wysokiej przepustowości, czy też dla materiałów wrażliwych na oddziaływanie wiązki elektronowej.

Łatwy w obsłudze, intuicyjny interfejs użytkownika

Czas odpompowania komory na próbki:

• do 2 minut

Powiększenie:

• od 5X do 1 000 000X

Wyjątkowo łatwa nawigacja próbką 

Rozdzielczość:

• Tryb wysokiej próżni: 3nm dla 30kV (SE), 8nm dla 3kV (SE)
• Tryb wysokiej próżni z deakceleracją energii wiązki: 7nm dla 3kV (mod BD + BSE)
• Tryb niskiej próżni: 3nm dla 30kV (SE), 4nm dla 30kV (BSE), 10nm dla 3kV (SE)

Kompleksowy system autodiagnostyki

Zakres prądu:

• do 2µA, regulowany w sposób ciągły

Katoda wolframowa (wysokowydajna z procedurą automatycznej wymiany) pracująca z napięciem przyspieszającym 200V – 30kV

Komora:

• 280mm wewnętrzna szerokość, 5 wolnych portów (przy zainstalowanych EDS i BSED)

Możliwość archiwizacji obrazów w następujących formatach:

• TIFF
• JPEG
• BMP

Możliwość zbierania obrazów optycznych

Uchwyt na próbki montowany na stoliku (na 7 standardowych stoliczków o średnicy 12mm), nie wymaga narzędzi do montażu próbek

Stolik na próbki: 

• zmotoryzowany w 5 osiach
• XY: 120x120mm
• zmotoryzowana oś Z: 55mm
• rotacja 360O ciągła, pochył od -15O do +90O
• maksymalna wysokość próbki 72mm do analitycznej odległości roboczej (10mm) lub 128mm do analitycznej odległości roboczej (10mm) przy zdemontowanym stoliku
• maksymalna masa próbki: 500g dla dowolnej pozycji stolika
• maksymalna masa próbki: 10kg ze zdemontowanym stolikiem
• maksymalna średnica próbki: 138mm dla pełnego ruchu XY, obrotu (możliwa akomodacja większych próbek przy ograniczonym ruchu XY i obrocie)

Detektory:

• Everhart-Thornley SE, EDS (13 mSr, rozdzielczość 129eV, opcjonalnie rozbudowa do TrueSight LX 38 mSr, rozdzielczość 132eV), SE niskopróżniowy (w opcji niskopróżniowej), kamera IR do podglądu próbki w komorze, CCD do nawigacji po próbce, katodoluminescencja (opcjonalnie), pomiar prądu (opcjonalnie), możliwość rozbudowy o dowolne detektory pozostałych producentów.