System mikroskopowy z układem do metrologii interferencyjnej MicroScope WLI

Mikroskop 3D MicroScope WLI firmy FRT to system badawczy zbudowany w oparciu o klasyczny mikroskop optyczny, oferujący szybkie, bezstykowe i niezwykle dokładne pomiary w trybie interferometrycznym zgodnie z normami DIN-ISO oraz standardem SEMI.

Cechą charakterystyczną jest łatwość obsługi oraz elastyczność układu optycznego, która umożliwia zarówno pomiary próbek super płaskich a także tych pokrytych dużą teksturą niezależnie od współczynnika odbicia światła.

Urządzenie pozwala na zautomatyzowany pomiar próbek o wymiarach 100 mm x 100 mm x 35 mm.

MicroScope WLI pracuje w oparciu o autorskie i autonomiczne oprogramowanie FRT MARK III, które zawiera standardowe moduły analityczne potrzebne podczas analizy zebranych danych.

Specyfikacja:

  • Łatwe w obsłudze i wydajne oprogramowanie sterujące FRT MARK III;
  • Pomiar nieniszczący metodami interferometrii optycznej światła białego WLI;
  • Pomiary według normy DIN-ISO oraz standardu SEMI;
  • Silne i sterowane cyfrowo źródło światła HB-LED;
  • Pomiary próbek o wymiarach 100 mm x 100 mm x 35 mm;
  • Szybkość przesuwu stolika 60 mm/s;
  • 4-ro gniazdowy rewolwer obiektywów, zakres powiększeń od 5x do 50x;
  • Dokładność pozycjonowania stolika 78 nm (mikro kroki);
  • Płaskość przesuwu stolika < 6 µm / 100 mm;
  • Maksymalna waga próbki do 1 kg.

Dostępne obiektywy:

obiektywy_MicroScope_WLI

microscope_wli_400px

 

×