Mikroskop 3D MicroSpy FT

Mikroskop 3D MicroSpy FT to zaawansowany system badawczy firmy FRT oferujący szybkie, bezstykowe i niezwykle dokładne pomiary przeźroczystych warstw, zarówno w widzialnym zakresie spektralnym VIS jak i niewidzialnym zakresie spektralnym UV / NIR.

Cechą charakterystyczną jest łatwość obsługi oraz elastyczność układu optycznego, która umożliwia pomiary próbek każdego rodzaju. Urządzenie pozwala na zautomatyzowany pomiar próbek o wymiarach 500 mm x 500 mm x 80 mm.

Najnowszy model MicroSpy FT posiada zaawansowaną interferometryczną metrologiczną głowicę pomiarową pracującą w widzialnym zakresie spektralnym VIS oraz w podczerwonym IR, którą dodatkowo można wyposażyć w reflektometr do pomiaru grubości warstwy.

System MicroSpy FT pracuje w oparciu o autorskie i autonomiczne oprogramowanie FRT MARK III, która zawiera standardowe moduły analityczne potrzebne podczas analizy zebranych danych. Oprogramowanie jest zgodne z pomiarami oraz metodami prezentacji wyników normy DIN-ISO oraz standardu SEMI.

Specyfikacja:

  • Łatwe w obsłudze i wydajne oprogramowanie sterujące FRT MARK III;
  • Pomiar nieniszczący metodami metrologii optycznej;
  • Silne i sterowane cyfrowo źródło światła VIS, UV, NIR, DIR;
  • Tryb pomiarowy interferencji światła białego;
  • Pomiary próbek o wymiarach 50 mm x 50 mm x 80mm;
  • Manualny przesuw głowicy w osi Z;
  • Szybkość przesuwu stolika 250 nm;
  • Płaskość przesuwu stolika < 2 µm / 100 mm;
  • Maksymalna waga próbki do 1 kg.

Dostępne obiektywy:

obiektywy_MicroSpy_FT

MicroSpy_FT

×