System metrologiczny MicroProf300

System metrologiczny MicroProf 300 firmy FTR oferuje szybkie, bezstykowe i niezwykle dokładne pomiary powierzchni zgodnie z normą DIN-ISO oraz standardem SEMI dla dużych obszarów 415 mm x 305 mm. System został opracowany z myślą o klientach przemysłowych i badaniami w obszarze, R&D, wytwarzania oraz kontroli jakości produktu.

Cechą charakterystyczną jest łatwość obsługi oraz elastyczność układu optycznego, która umożliwia pomiary próbek każdego rodzaju. Urządzenie pozwala na zautomatyzowany pomiar próbek o wymiarach 415 mm x 305 mm x 50 mm (opcjonalnie na 100mm).

Najnowszy model MicroProf 200 posiada zaawansowaną metrologiczną głowicę pomiarową, którą można wyposażyć w kilka typów sensorów w tym w sensor konfokalny, interferencyjny światła białego oraz sensor modulacji ostrości a także mikroskop sił atomowych.

W aplikacjach w których istotny jest dwustronny pomiar próbki firma FRT w modelu MicroProf 200 może zaoferować opatentowaną opcję TTV, pomiar dwustronnym linearyzowanym bliźniaczym układem optycznym.

System MicroProf pracuje w oparciu o autorskie i autonomiczne oprogramowanie FRT MARK III, które zawiera standardowe moduły analityczne potrzebne podczas analizy zebranych danych.

Specyfikacja:

  • Łatwe i wydajne oprogramowanie sterujące FRT MARK III
  • Pomiar nieniszczący metodami metrologii optycznej
  • Pomiary zgodne z normą DNI-ISO oraz standardem SEMI
  • Silne i sterowane cyfrowo źródło światła HB-LED
  • Pomiar w szybkością do 4kHz
  • Możliwość rozbudowy o dodatkowe sensory optyczne
  • Możliwość rozbudowy o układ pomiaru grubości warstwy (FTM)
  • Pomiary próbek o wymiarach 250 mm x 200 mm x 50 (100) mm
  • Szybkość przesuwu stolika 300mm/sec
  • Dokładność pozycjonowania stolika 50 nm
  • Płaskość przesuwu stolika <2 um/100mm
  • Maksymalna waga próbki do 5 kg
  • Możliwość integracji z systemem do ładowania wafli krzemowych w standardzie SEMI

MicroProf300

×