System metrologiczny MicroProf 200

System metrologiczny MicroProf 200 firmy FRT oferuje szybkie, bezstykowe i niezwykle dokładne pomiary powierzchni  zgodnie z normą DIN-ISO oraz standardem SEMI.

Cechą charakterystyczną jest łatwość obsługi oraz elastyczność układu optycznego, która umożliwia pomiary próbek każdego rodzaju. Urządzenie pozwala na zautomatyzowany pomiar próbek o wymiarach 250 mm x 200 mm x 50 mm ( opcjonalnie do 100 mm ).

MicroProf 200 posiada zaawansowaną metrologiczną głowicę pomiarową, którą można wyposażyć w kilka typów sensorów w tym w sensor konfokalny, interferencyjny światła białego oraz sensor aberracji chromatycznej a także mikroskop sił atomowych.

W aplikacjach, w których istotny jest dwustronny pomiar próbki firma FRT w modelu MicroProf 200 może zaoferować opatentowane rozwiązanie TTV, pomiar dwustronnym zespolonym układem optycznym.

System MicroProf pracuje w oparciu o autorskie i autonomiczne oprogramowanie FRT MARK III, które zawiera standardowe moduły analityczne potrzebne podczas analizy zebranych danych.

Specyfikacja:

  • Łatwe w obsłudze i wydajne oprogramowanie sterujące FRT MARK III;
  • Pomiar nieniszczący metodami metrologii optycznej;
  • Pomiary zgodne z normą DIN-ISO oraz standardem SEMI;
  • Silne i sterowane cyfrowo źródło światła HB-LED;
  • Pomiar z szybkością do 4kHz;
  • Możliwość rozbudowy o dodatkowe sensory optyczne;
  • Możliwość rozbudowy o podczerwone źródło światła (IR);
  • Możliwość rozbudowy o układ pomiaru grubości warstwy (FTM);
  • Pomiary próbek o wymiarach 250 mm x 200 mm x 50 (100) mm;
  • Szybkość przesuwu stolika 300 mm/sek;
  • Dokładność pozycjonowania stolika 50 nm;
  • Płaskość przesuwu stolika < 1 µm / 100 mm;
  • Maksymalna waga próbki do 5 kg;
  • Możliwość integracji z systemem do ładowania wafli krzemowych w standardzie SEMI.

MicroProf_200

×