System metrologiczny MicroProf 100

System metrologiczny MicroProf 100 firmy FRT oferuje szybkie, bezstykowe i niezwykle dokładne pomiary powierzchni zgodnie z normami DIN-ISO oraz standardem SEMI, system został zaprojektowany z myślą o klientach przemysłowych i badaniach jakości, dlatego oferuje niespotykany wcześniej stosunek jakości do ceny.

Cechą charakterystyczną jest łatwość obsługi oraz elastyczność układu optycznego, która umożliwia pomiary próbek każdego rodzaju. Urządzenie pozwala na zautomatyzowany pomiar próbek o wymiarach 100 mm x 100 mm x 50 mm ( opcjonalnie 100 mm).

Najnowszy model MicroProf 100 posiada zaawansowaną metrologiczną głowicę pomiarową, którą można wyposażyć w kilka typów sensorów w tym sensor konfokalny, interferencyjny światła białego oraz sensor modulacji ostrości a także mikroskop sił atomowych.

System MicroProf pracuje w oparciu o autorski i autonomiczne oprogramowanie FRT MARK III, które zawiera standardowe moduły analityczne potrzebne podczas analizy zebranych danych.

Specyfikacja:

  • Łatwe w obsłudze i wydajne oprogramowanie sterujące FRT MARK III;
  • Pomiar nieniszczący metodami metrologii optycznej;
  • Pomiary zgodne z normą DIN-ISO oraz standardem SEMI;
  • Silne i sterowane cyfrowo źródło światła HB-LED;
  • Pomiar z szybkością do 4 kHz;
  • Możliwość rozbudowy o dodatkowe sensory optyczne;
  • Pomiary próbek o wymiarach 250 mm x 200 mm x 50 (100) mm;
  • Szybkość przesuwu stolika 100 mm/sek;
  • Dokładność pozycjonowania stolika 50 nm;
  • Płaskość przesuwu stolika < 1 µm / 100 mm;
  • Maksymalna waga próbki do 5 kg;
  • Możliwość integracji z systemem do ładowania wafli krzemowych w standardzie SEMI;

MicroProf_100

 

×