System metrologiczny MicroGlider 500R

System metrologiczny MicroGlider firmy FRT oferuje szybkie, bezstykowe i niezwykle dokładne pomiary powierzchni zgodnie z normą DIN-ISO. System został zaprojektowany z myślą o automatycznym wysokorozdzielczym mapowaniu dużych symetrycznych okrągłych powierzchni zarówno podczas procesu R&D jak i podczas rutynowej kontroli jakości i dokładności wykonania na różnych etapach produkcji.

Cechą charakterystyczną systemu jest największa komercyjnie dostępna powierzchnia robocza 300 mm / 360° oraz precyzja pozycjonowania próbki względem głowicy metrologicznej równa 50 nm / 0,000024°.

MicroGlider 500R posiada zaawansowaną metrologiczną głowicę pomiarową standardowo wyposażoną w czujnik aberracji chromatycznej, którą można doposażyć w dodatkowe sensory w tym w sensor konfokalny oraz sensor interferencyjny światła białego.

System MicroGlider 500R pracuje w oparciu o autorskie i autonomiczne oprogramowanie FRT MARK III, które zawiera standardowe moduły analityczne potrzebne podczas analizy zebranych danych.

Specyfikacja:

  • Łatwe w obsłudze i wydajne oprogramowanie sterujące FRT MARK III;
  • Pomiar nieniszczący metodami metrologii optycznej;
  • Pomiary zgodne z normą DIN-ISO oraz standardem SEMI;
  • Możliwość rozbudowy o dodatkowe sensory optyczne;
  • Pomiary próbek o wymiarach 300 mm / 360°;
  • Szybkość przesuwu stolika 100 mm/sek;
  • Dokładność pozycjonowania stolika 50 nm / 0,000024°;
  • Płaskość przesuwu stolika < 1 µm;
  • Maksymalna waga próbki do 20 kg.

CWL_600um

MicroGlider_500R

 

 

×