System do nanoprobingu w SEM

System do nanoprobingu w mikroskopie SEM umożliwia prowadzenie intuicyjnych pomiarów niskich prądów w warunkach in situ. Pozwala on na charakteryzację próbki w komorze próżniowej mikroskopu w dowolnym momencie obserwacji.

Rozwiązanie wykorzystuje cztery mikromanipulatory miBot pozwalające użytkownikowi niezależnie pozycjonować sondy na próbkach z rozdzielczością w skali nanometrycznej. Cztery stopnie swobody każdego z mikromanipulatorów umożliwiają operatorowi łatwo dostosować orientację sond podczas eksperymentu.

Zestaw adapterów dostarczanych wraz z urządzeniem umożliwia dostosowanie systemu do dowolnych mikroskopów SEM, nawet tych z najmniejszą komorą. Płaska platforma systemu o średnicy 10 cm może być zainstalowana na stoliku mikroskopu lub interfejsie mechanizmu load-lock.

 

×