Plasma Cleaner GV10x DS Asher

Urządzenie GV10x Downstream Asher umożliwia usuwanie kontaminacji węglowej znacznie efektywniej niż urządzenia wykorzystujące tradycyjne metody ograniczające kontaminację za pomocą chwytania zimnem, przedmuchiwania azotem oraz czyszczenia plazmą. System GV10x posiada rozszerzone zakresy mocy i ciśnienia (5-100 Wat i od 2 do <0,005 Torr). Atomy tlenu i wodoru eliminują kontaminację węglową z powierzchni poprzez konwersję atomów węgla do molekuł w fazie gazowej, które są potem odpompowywane z komory. System GV10x DS Asher może być wykorzystywany w wielu urządzeniach dzięki możliwości wygodnego przenoszenia z urządzenia do urządzenia.

Właściwości:
– Sprzężenie indukcyjne
– Płynna regulacja ciśnienia pracy zakresie <5 mTorr do 2 Torr
– Rozszerzony zakres mocy: 5 – 100 Wat
– Bardzo wysoka efektywność i równomierność czyszczenia
– 10 – 20 razy efektywniejsza redukcja kontaminacji niż w przypadku konkurencyjnych urządzeń
– Powtarzalna szybkość czyszczenia, np. 1,5 nm/min przy mocy 30 Wat
– Nie wpływa niszcząco na próbkę i mikroskop
– W pełni funkcjonalne przy włączonej pompie turbomolekularnej
– Łatwość przenoszenia z urządzenia do urządzenia
– Nie powoduje nagrzewania, rozpylania i podtrawiania

gv10x_ds_asher

×