MicroSpy Topo DT

Mikroskop 3D MicroSpy Topo DT firmy FTR to system badawczy oferujący szybkie, bezstykowe i niezwykle dokładne pomiary w dwóch trybach konfokalnym oraz interferometrycznym zgodnie z normą DIN-ISO oraz standardem SEMI.

Cechą charakterystyczną jest łatwość obsługi oraz elastyczność układu optycznego, która umożliwia pomiary próbek każdego rodzaju. Urządzenie pozwala na zautomatyzowany pomiar próbek o wymiarach 100 mm x 100 mm x 50 mm.

Najnowszy model MicroSpy Topo DT posiada zaawansowaną metrologiczną głowicę pomiarową, którą można wyposażyć w dwa sensory konfokalny i interferencyjny światła białego.

System MicroSpy Topo DT pracuje w oparciu o autorskie i autonomiczne oprogramowanie FRT MARK III, które zawiera standardowe moduły analityczne potrzebne podczas analizy zebranych danych.

Specyfikacja:

  • Łatwe w obsłudze i wydajne oprogramowanie sterujące FRT MARK III
  • Pomiar nieniszczący metodami metrologii optycznej
  • Pomiary zgodne z normą DNI-ISO oraz standardem SEMI
  • Silne i sterowane cyfrowo źródło światła HB-LED
  • Pomiary interferometryczne w trybie VSI oraz PSI
  • Pomiary konfokalne z dużą głębią ostrości CFM DF
  • Pomiary próbek o wymiarach 100 mm x 100 mm x 50 mm
  • Szybkość przesuwu stolika 25 mm/sec
  • 6-cio gniazdowy rewolwer obiektywów
  • Dokładność pozycjonowania stolika 78 nm (miro kroki)
  • Płaskość przesuwu stolika <4um/100mm
  • Maksymalna waga próbki do 10 kg

Dostępne obiektywy:

microspy-topo_dt_obiektywy

microspy_topodt_400px

×